多晶硅产品中磁性物质成分及来源控制
来源期刊：云南冶金2018年第2期
论文作者：徐远志 杨芃 王世松 顾国宝
文章页码：74 - 77
关键词：磁性物质;成分;多晶硅;
摘 要：改良西门子法生产多晶硅产品后处理工艺操作中,会引入Fe、Co、Ni、Cr、Zn等成分磁性物质,该磁性物质会随着多晶硅产品进入到下游铸锭工艺中,最终演变成为多晶硅产品中的体金属杂质,影响下游产品质量。目前,国内多数厂家产品中都会检测到磁性物质存在,已经成为一个共性问题,急需解决。
徐远志1，杨芃2，王世松1，顾国宝1
摘 要：改良西门子法生产多晶硅产品后处理工艺操作中,会引入Fe、Co、Ni、Cr、Zn等成分磁性物质,该磁性物质会随着多晶硅产品进入到下游铸锭工艺中,最终演变成为多晶硅产品中的体金属杂质,影响下游产品质量。目前,国内多数厂家产品中都会检测到磁性物质存在,已经成为一个共性问题,急需解决。
关键词：磁性物质;成分;多晶硅;
