多晶硅太阳电池表面激光织构工艺研究
来源期刊：材料导报2012年第24期
论文作者：佘鹏 曾梦麟
文章页码：16 - 40
关键词：多晶硅太阳电池;减反射;激光织构;
摘 要：采用激光刻蚀,辅以化学溶液腐蚀对多晶硅片进行了表面织构。利用扫描电镜（SEM）、Helios LAB-rc反射率测试仪和Semilab WT2000少子寿命仪对样品进行了表征。结果表明,多晶硅表面经激光织构后表现出很好的陷光效果,反射率降低为8.0%。激光织构使硅片的少子寿命缩短,通过沉积Al2O3钝化薄膜可改善多晶硅片的电学性能。
佘鹏，曾梦麟
湖南大学微纳光电子器件及应用教育部重点实验室
摘 要：采用激光刻蚀,辅以化学溶液腐蚀对多晶硅片进行了表面织构。利用扫描电镜（SEM）、Helios LAB-rc反射率测试仪和Semilab WT2000少子寿命仪对样品进行了表征。结果表明,多晶硅表面经激光织构后表现出很好的陷光效果,反射率降低为8.0%。激光织构使硅片的少子寿命缩短,通过沉积Al2O3钝化薄膜可改善多晶硅片的电学性能。
关键词：多晶硅太阳电池;减反射;激光织构;
