退火温度对Co₂FeAl薄膜磁与结构特性的影响

来源期刊：磁性材料及器件2018年第2期

论文作者：徐展 庄凤江 苏少坚 陈传文 王可

文章页码：10 - 13

关键词：Co2FeAl薄膜;溅射功率;退火温度;磁各向异性;

摘    要：用磁控溅射法制备了一系列Co₂FeAl合金薄膜,并进行了退火处理。利用振动样品磁强计（VSM）和X射线衍射（XRD）对样品进行表征,研究了溅射功率和退火温度对Co₂FeAl薄膜磁与结构特性的影响。高功率下制备的沉积态薄膜就具有强磁性,同时也具有单轴磁各向异性;而对应的低功率下制备的沉积态薄膜则呈现出弱磁性。300℃退火后出现单轴磁各向异性;700℃退火后,所有薄膜均表现为磁各向同性。随着退火温度的升高,薄膜的矫顽力变大。X射线衍射分析表明,随着热处理温度升高,薄膜的晶粒尺寸增大,从而导致晶粒间磁耦合作用增强,这与薄膜的磁特性结果相一致。