电化学与半导体SO2气体传感器的研究进展
来源期刊:功能材料与器件学报2020年第3期
论文作者:赵长辉 牛高强 龚慧敏 胡玉申 罗安信 张明香 汪飞
文章页码:143 - 159
关键词:电化学式;半导体式;SO2;气体传感器;敏感材料;
摘 要:作为最常见的工业污染气体之一,SO2的排放对环境和生物体都将产生严重的威胁,而高效便携的气体检测装置越来越受到人们的关注。相比于传统的SO2检测方法,电化学式和半导体式SO2气体传感器因其结构简单、操作方便、性能优异和成本低等优点,近年来得到了迅速发展。分别介绍电化学式和半导体式SO2气体传感器的国内外研究现状,重点综述了不同器件结构、敏感材料和传感机理等方面的研究进展,归纳了限制其实际应用的关键技术难点,并展望其未来的发展趋势。
赵长辉,牛高强,龚慧敏,胡玉申,罗安信,张明香,汪飞
未来通信集成电路教育部工程研究中心南方科技大学深港微电子学院
摘 要:作为最常见的工业污染气体之一,SO2的排放对环境和生物体都将产生严重的威胁,而高效便携的气体检测装置越来越受到人们的关注。相比于传统的SO2检测方法,电化学式和半导体式SO2气体传感器因其结构简单、操作方便、性能优异和成本低等优点,近年来得到了迅速发展。分别介绍电化学式和半导体式SO2气体传感器的国内外研究现状,重点综述了不同器件结构、敏感材料和传感机理等方面的研究进展,归纳了限制其实际应用的关键技术难点,并展望其未来的发展趋势。
关键词:电化学式;半导体式;SO2;气体传感器;敏感材料;