单晶PMnN-PZT铁电薄膜制备与表征
来源期刊：功能材料2012年第11期
论文作者：张涛 马宏伟 张淑仪 李敏 赵省贵
文章页码：1431 - 1433
关键词：PMnN-PZT;单晶铁电薄膜;磁控溅射;
摘 要：利用磁控溅射方法,在MgO基底上沉积三元系铁电薄膜6%PMnN-94%PZT（6%Pb（Mn1/3,Nb2/3）O3-94%Pb（Zr0.45,Ti0.55）O3）,采用淬火方法对薄膜进行后期热处理。分别运用面内和面外X射线衍射（XRD）技术分析薄膜长相及晶体结构,运用高分辨率扫描电镜（SEM）观察薄膜的晶粒表面及截面结构。实验结果表明,所沉积薄膜为单晶钙钛矿结构薄膜,薄膜结构优良。
张涛1,2，马宏伟1，张淑仪2，李敏1，赵省贵1
1. 西安科技大学理学院2. 南京大学声学研究所
摘 要：利用磁控溅射方法,在MgO基底上沉积三元系铁电薄膜6%PMnN-94%PZT（6%Pb（Mn1/3,Nb2/3）O3-94%Pb（Zr0.45,Ti0.55）O3）,采用淬火方法对薄膜进行后期热处理。分别运用面内和面外X射线衍射（XRD）技术分析薄膜长相及晶体结构,运用高分辨率扫描电镜（SEM）观察薄膜的晶粒表面及截面结构。实验结果表明,所沉积薄膜为单晶钙钛矿结构薄膜,薄膜结构优良。
关键词：PMnN-PZT;单晶铁电薄膜;磁控溅射;
