气相CdCl2退火对CdTe多晶薄膜性能的影响
来源期刊：功能材料与器件学报2008年第3期
论文作者：蔡伟 冯良桓 曾广根 郑家贵 黎兵
关键词：CdTe多晶薄膜; 退火; 太阳电池;
摘 要：利用近空间升华法在Ar+O2气氛下沉积了CdTe多晶薄膜,并在气相CdCl2氛围下进行了不同温度的退火,对样品进行了厚度、XRD、SEM、透过谱,σ-T等性能测试,结果表明:退火后CdTe多晶薄膜在(111)面上仍具有择优取向,退火能使晶界钝化,增加再结晶并促进晶粒长大;但对薄膜的透过率没有影响,退火后,暗电导(σdark)增加,电导激活能(Ea)减少.得到了最优化的退火条件.
蔡伟1，冯良桓1，曾广根1，郑家贵1，黎兵1
(1.四川大学太阳能材料与器件研究所,成都,610064)
摘要:利用近空间升华法在Ar+O2气氛下沉积了CdTe多晶薄膜,并在气相CdCl2氛围下进行了不同温度的退火,对样品进行了厚度、XRD、SEM、透过谱,σ-T等性能测试,结果表明:退火后CdTe多晶薄膜在(111)面上仍具有择优取向,退火能使晶界钝化,增加再结晶并促进晶粒长大;但对薄膜的透过率没有影响,退火后,暗电导(σdark)增加,电导激活能(Ea)减少.得到了最优化的退火条件.
关键词:CdTe多晶薄膜; 退火; 太阳电池;
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