大面积金刚石膜沉积过程中的热应力分析
来源期刊：工程科学学报2000年第2期
论文作者：黄天斌 刘敬明 唐伟忠 佟玉梅 于文秀 吕反修
文章页码：153 - 155
关键词：大面积金刚石膜;热应力;数值计算;
摘 要：应用实际工作状态的边界条件计算了金刚石膜中的热应力分布，并用实验手段进行 了验证．结果认为，金刚石膜的热应力沿径向是不均匀的，中间的热应力要比边部的大，主要是 压应力．这种很大的压应力，容易引起金刚石膜的炸裂．
黄天斌，刘敬明，唐伟忠，佟玉梅，于文秀，吕反修
摘 要：应用实际工作状态的边界条件计算了金刚石膜中的热应力分布，并用实验手段进行 了验证．结果认为，金刚石膜的热应力沿径向是不均匀的，中间的热应力要比边部的大，主要是 压应力．这种很大的压应力，容易引起金刚石膜的炸裂．
关键词：大面积金刚石膜;热应力;数值计算;
