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CeO2掺杂TiO2催化剂薄膜的制备与表征

来源期刊：材料工程2003年第11期

论文作者：张俊英王金良郝维昌潘锋郑树凯王天民

关键词：TiO2薄膜; CeO2掺杂; 共溅射;

摘要：以Ar为工作气体,O2为反应气体,利用射频磁控溅射技术成功地在载玻片上沉积了透明TiO2催化剂薄膜.同时利用共溅射技术制备了掺杂CeO2的TiO2催化剂薄膜.采用X射线衍射(XRD)、Raman光谱、UV-VIS-NIR分光光度计、原子力显微镜(AFM)对薄膜进行了结构和形貌表征.

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张俊英¹，王金良¹，郝维昌¹，潘锋¹，郑树凯¹，王天民¹

(1.北京航空航天大学材料物理与化学研究中心,北京,100083)

摘要:以Ar为工作气体,O2为反应气体,利用射频磁控溅射技术成功地在载玻片上沉积了透明TiO2催化剂薄膜.同时利用共溅射技术制备了掺杂CeO2的TiO2催化剂薄膜.采用X射线衍射(XRD)、Raman光谱、UV-VIS-NIR分光光度计、原子力显微镜(AFM)对薄膜进行了结构和形貌表征.

关键词:TiO2薄膜; CeO2掺杂; 共溅射;

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