硫化温度对铜锌锡硫薄膜特性的影响

来源期刊：材料研究学报2013年第2期

论文作者：谢敏 庄大明 刘江 郭力 宋军

文章页码：126 - 130

关键词：无机非金属材料;太阳电池;铜锌锡硫;溅射;硫化;

摘    要：采用预制膜硫化法制备铜锌锡硫(CZTS)薄膜,分别在350,400,450,500,550℃进行硫化,研究了硫化温度对薄膜特性的影响。结果表明:硫化温度低于400℃时硫化反应基本上不发生,主要发生Cu6Sn5和Cu5Zn8两相中元素相互扩散的合金化过程,只有少量硫化物Sn3S4和ZnS生成;硫化温度为450℃时,合金相消失,硫化后的薄膜同时含有CZTS和SnS;硫化温度为500℃时薄膜的主要组成相为CZTS,其晶粒尺寸达2μm,但表面粗糙;硫化温度为550℃薄膜中CZTS晶粒尺寸约为2μm,表面平整。