干涉型Al-N-O选择性吸收表面的研究
来源期刊：工程科学学报2000年第1期
论文作者：谢光明 李金许 高汉三 尹万里
关键词：有效介质理论;干涉;填充因子;磁控溅射;
摘 要：利用Ａｌ－Ｎ－Ｏ选择性吸收层之间产生的干涉效应，改善吸收表面的光学性能（吸收率α和发射率）．通过工艺实验确定了２种不同金属填充因子的双吸收层结构．与多层渐变吸收表面相比双吸收层结构吸收表面具有膜系结构简单、高温下性能稳定、发射率较低等优点．吸收表面的吸收率α为０．９３～０．９５，发射率（３５３Ｋ）为０．０４～０．０６．
谢光明，李金许，高汉三，尹万里
北京市太阳能研究所!北京100083北京科技大学材料科学与工程学院!北京100083
摘 要：利用Ａｌ－Ｎ－Ｏ选择性吸收层之间产生的干涉效应，改善吸收表面的光学性能（吸收率α和发射率）．通过工艺实验确定了２种不同金属填充因子的双吸收层结构．与多层渐变吸收表面相比双吸收层结构吸收表面具有膜系结构简单、高温下性能稳定、发射率较低等优点．吸收表面的吸收率α为０．９３～０．９５，发射率（３５３Ｋ）为０．０４～０．０６．
关键词：有效介质理论;干涉;填充因子;磁控溅射;
