纳米薄膜脉冲激光沉积技术
来源期刊：宇航材料工艺2001年第4期
论文作者：陈学康 李美成 杨建平 赵连城 吴敢
关键词：脉冲激光沉积; 纳米薄膜; 激光分子束外延(L-MBE); 红外探测器;
摘 要：简要介绍了脉冲激光薄膜沉积(PLD)技术的物理原理、独具的特点,并且介绍了在PLD基础上结合分子束外延(MBE)特点发展起来的激光分子束外延(L-MBE),以及采用L-MBE技术制备硅基纳米PtSi薄膜的结果.
陈学康1，李美成2，杨建平1，赵连城2，吴敢1
(1.兰州物理研究所激光分子束外延技术实验室,;
2.哈尔滨工业大学材料科学与工程学院,)
摘要:简要介绍了脉冲激光薄膜沉积(PLD)技术的物理原理、独具的特点,并且介绍了在PLD基础上结合分子束外延(MBE)特点发展起来的激光分子束外延(L-MBE),以及采用L-MBE技术制备硅基纳米PtSi薄膜的结果.
关键词:脉冲激光沉积; 纳米薄膜; 激光分子束外延(L-MBE); 红外探测器;
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