非晶金刚石薄膜的拉曼光谱研究
来源期刊：无机材料学报2000年第1期
论文作者：范家海 周友国 杨增红 彭少麒 魏爱香 陈弟虎
关键词：非晶金刚石薄膜; 拉曼光谱; 表面形貌;
摘 要：碳离子的能量是影响非晶金刚石薄膜结构和性质最关键的工艺参数. 采用磁过滤真空溅射离子技术,研究不同衬底偏压V b(即不同碳离子能量)下制备的非晶金刚石薄膜的拉曼光谱和表面形貌. 结果表明: -50V V b-10V时,样品表面均匀、光滑,拉曼谱是对称且很宽的散射带;V b>-10V 或V b<-50V时,已有晶团出现,表面粗糙度明显增加,拉曼谱明显地分裂为1580cm-1的G带和1350cm-1的D带.
范家海1，周友国1，杨增红1，彭少麒2，魏爱香2，陈弟虎2
(1.海军广州舰艇学院,广州,510431;
2.中山大学物理系,广州,510275)
摘要:碳离子的能量是影响非晶金刚石薄膜结构和性质最关键的工艺参数. 采用磁过滤真空溅射离子技术,研究不同衬底偏压V b(即不同碳离子能量)下制备的非晶金刚石薄膜的拉曼光谱和表面形貌. 结果表明: -50V V b-10V时,样品表面均匀、光滑,拉曼谱是对称且很宽的散射带;V b>-10V 或V b<-50V时,已有晶团出现,表面粗糙度明显增加,拉曼谱明显地分裂为1580cm-1的G带和1350cm-1的D带.
关键词:非晶金刚石薄膜; 拉曼光谱; 表面形貌;
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