高效大功率LED用蓝宝石图形衬底制备的研究进展

来源期刊：功能材料2012年第21期

论文作者：桂全宏 周福强 汪桂根 崔林 黎凌华 严帅 韩杰才

文章页码：2886 - 2892

关键词：蓝宝石图形衬底;GaN;LED;

摘    要：近年来,图形化的蓝宝石衬底在改善GaN晶体外延生长质量以及提升LED器件发光提取效率方面作用显著,引起了广泛的研究兴趣。综述了蓝宝石图形衬底的制备方法(干法刻蚀、湿法刻蚀、外延生长法),并较系统地介绍了蓝宝石图形衬底表面周期性图形参数(图形形貌、图案尺寸、图形占位比及其深度)对LED发光薄膜及器件的影响及其机理,最后对蓝宝石图形衬底的发展趋势进行了展望。