不同锻造变形量对管状溅射靶材晶粒组织的影响
来源期刊：中国钼业2012年第4期
论文作者：李晶 王锦 安耿 张常乐 刘仁智
文章页码：48 - 51
关键词：钼溅射靶;管状;组织;晶粒;
摘 要：选用常规钼粉作为原料,采用锻造加工方式加工出一定规格的管状溅射靶材,在不同退火温度下观察晶粒组织,得出变形量为80%、1 100℃工艺下加工出的溅射靶材晶粒大小均匀,组织性能较好,符合溅射靶材对晶粒度的要求。
李晶，王锦，安耿，张常乐，刘仁智
金堆城钼业股份有限公司技术中心
摘 要：选用常规钼粉作为原料,采用锻造加工方式加工出一定规格的管状溅射靶材,在不同退火温度下观察晶粒组织,得出变形量为80%、1 100℃工艺下加工出的溅射靶材晶粒大小均匀,组织性能较好,符合溅射靶材对晶粒度的要求。
关键词：钼溅射靶;管状;组织;晶粒;
