微等离子体氧化法TiO2、TiO2(W)薄膜的制备及性能
来源期刊：功能材料2004年增刊第1期
论文作者：严立 张世锋 高玉周 王亮
关键词：锐钛型; 金红石; 微等离子体氧化; 薄膜;
摘 要：利用微等离子体氧化方法,在纯Ti金属表面制备TiO2、TiO2(W)薄膜,并用X射线衍射(XRD)、扫描电镜(SEM)初步研究了薄膜的组织结构和表面形貌.在不同的条件下,得到3种不同类型结构组成的薄膜:单一TiO2的锐钛型结构、单一TiO2金红石结构及TiO2(W)薄膜;同时对薄膜的催化特性进行了初步的研究.
严立1，张世锋1，高玉周1，王亮1
(1.大连海事大学,材料及工艺研究所,辽宁,大连,1106026)
摘要:利用微等离子体氧化方法,在纯Ti金属表面制备TiO2、TiO2(W)薄膜,并用X射线衍射(XRD)、扫描电镜(SEM)初步研究了薄膜的组织结构和表面形貌.在不同的条件下,得到3种不同类型结构组成的薄膜:单一TiO2的锐钛型结构、单一TiO2金红石结构及TiO2(W)薄膜;同时对薄膜的催化特性进行了初步的研究.
关键词:锐钛型; 金红石; 微等离子体氧化; 薄膜;
【全文内容正在添加中】
