蒙特卡罗方法研究沉积原子动能对BaTiO₃薄膜三维生长的影响

来源期刊：功能材料2014年第4期

论文作者：郭源 谢国锋 唐明华

文章页码：4043 - 4046

关键词：铁电薄膜;动力学蒙特卡罗;薄膜生长;

摘    要：根据钙钛矿结构的特点,提出了一种基于双格子系统的动力学蒙特卡罗KMC方法（kinetic monte carlo）。与传统的SOS（solid-on-solid）模型不同,该方法从单个原子事件出发,模拟沉积原子在表面的吸附、扩散和成键的动力学过程。应用该方法模拟了BaTiO3薄膜在（001）面的同质外延生长过程,分析沉积原子动能对BaTiO3薄膜生长过程中形核率、岛密度、三维形貌、缺陷率以及成键率的影响,为优化工艺参数、制备高性能铁电薄膜提供依据。