钢表面化学气相沉积钽涂层的研究
来源期刊：工程科学学报1984年第2期
论文作者：卢燕平 张长鑫 赵海滨 韩文礼
文章页码：118 - 124
摘 要：本文研究了Ta-Cl2-H2体系在45钢表面化学气相沉积钽涂层工艺,讨论了钽的沉积速度与温度、五氯化钽和氢气压力之间的关系。本文还扼要介绍了用金相、x射线衍射和电子探针分析等方法测定涂层结构的研究结果。腐蚀试验结果表明,涂层样品在37.7％HCl,63％H2SO4介质中具有很高的抗蚀能力,其腐蚀速率比未涂层的可降低2～3个数量级。
卢燕平，张长鑫，赵海滨，韩文礼
摘 要：本文研究了Ta-Cl2-H2体系在45钢表面化学气相沉积钽涂层工艺,讨论了钽的沉积速度与温度、五氯化钽和氢气压力之间的关系。本文还扼要介绍了用金相、x射线衍射和电子探针分析等方法测定涂层结构的研究结果。腐蚀试验结果表明,涂层样品在37.7％HCl,63％H2SO4介质中具有很高的抗蚀能力,其腐蚀速率比未涂层的可降低2～3个数量级。
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