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ITO透明导电薄膜的制备方法及研究进展

来源期刊：材料开发与应用2010年第4期

论文作者：江自然

文章页码：68 - 157

关键词：ITO薄膜;透明导电薄膜;制备方法;研究进展;

摘要：概述了透明导电薄膜的分类及ITO薄膜的基本性质,综述了用于制备ITO薄膜的磁控溅射法、真空蒸发法、溶胶-凝胶法、喷雾热解法、化学气相沉积法,论述了不同制备方法的优缺点。最后,介绍了ITO薄膜的应用现状,并对ITO薄膜的发展趋势进行了展望。

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江自然

中南大学材料科学与工程学院

关键词：ITO薄膜;透明导电薄膜;制备方法;研究进展;