陶瓷基半导体电热膜的研制
来源期刊：东北大学学报(自然科学版)2000年第6期
论文作者：周清 丛琦 荣军 熊果元
文章页码：659 - 661
关键词：半导体;电热膜;陶瓷;化学沉积;
摘 要：介绍在陶瓷地砖上用最简单实用的化学热沉积工艺制备出成本低廉的半导体电热膜 ,研制新型建筑装修材料—“恒温地面”,同时通过大量的实验数据 ,详细讨论了陶瓷表面的敏化、核的植入、膜的生长、沉积速率、温度梯度场等相关问题 ,阐明了半导体电热膜的成膜机理及制备工艺·
周清，丛琦，荣军，熊果元
摘 要：介绍在陶瓷地砖上用最简单实用的化学热沉积工艺制备出成本低廉的半导体电热膜 ,研制新型建筑装修材料—“恒温地面”,同时通过大量的实验数据 ,详细讨论了陶瓷表面的敏化、核的植入、膜的生长、沉积速率、温度梯度场等相关问题 ,阐明了半导体电热膜的成膜机理及制备工艺·
关键词：半导体;电热膜;陶瓷;化学沉积;
