反应磁控溅射法制备ZnO/Al(O)/ZnO薄膜的光学和电学性能
来源期刊：机械工程材料2018年第8期
论文作者：邢士龙 闵光辉 庞涛
文章页码：48 - 134
关键词：反应磁控溅射;ZnO/Al(O)/ZnO薄膜;氧掺杂;氧气流量;
摘 要：采用反应磁控溅射法,通过控制中间层沉积时的氧气流量,在聚对苯二甲酸乙二醇酯基底上制备了ZnO/Al（O）/ZnO薄膜,研究了氧气流量对Al（O）薄膜的微观形貌、表面粗糙度,以及对ZnO/Al（O）/ZnO薄膜光学和电学性能的影响。结果表明:随着氧气流量的增加,铝在ZnO薄膜表面由三维岛状生长转变为二维层片状生长,Al（O）薄膜表面粗糙度先增大后减小再增大,当氧气流量为6.7×10-3cm3·s-1时最小;随着氧气流量的增加,ZnO/Al（O）/ZnO薄膜在较长波长范围内的透过率增大,方阻增大,霍尔迁移率和载流子浓度下降;综合考虑光学和电学性能,适宜的氧气流量为6.7×10-3cm3·s-1。
邢士龙1，闵光辉1,2，庞涛1
1. 山东大学材料科学与工程学院2. 昌吉学院物理系
摘 要：采用反应磁控溅射法,通过控制中间层沉积时的氧气流量,在聚对苯二甲酸乙二醇酯基底上制备了ZnO/Al（O）/ZnO薄膜,研究了氧气流量对Al（O）薄膜的微观形貌、表面粗糙度,以及对ZnO/Al（O）/ZnO薄膜光学和电学性能的影响。结果表明:随着氧气流量的增加,铝在ZnO薄膜表面由三维岛状生长转变为二维层片状生长,Al（O）薄膜表面粗糙度先增大后减小再增大,当氧气流量为6.7×10-3cm3·s-1时最小;随着氧气流量的增加,ZnO/Al（O）/ZnO薄膜在较长波长范围内的透过率增大,方阻增大,霍尔迁移率和载流子浓度下降;综合考虑光学和电学性能,适宜的氧气流量为6.7×10-3cm3·s-1。
关键词：反应磁控溅射;ZnO/Al(O)/ZnO薄膜;氧掺杂;氧气流量;
