微压入仪的设计与柔度分析

来源期刊：机械设计与制造2012年第1期

论文作者：宋仲康 马德军 陈伟 郭俊宏

文章页码：26 - 28

关键词：仪器化压入;音圈电机;PID算法;柔度;

摘    要：设计了基于仪器化压入技术的具有纳米测试精度的微压入仪,仪器集驱动、检测、控制和数据分析等功能于一体。采用音圈电机加载,无传动机构,减少了中间误差;通过高精度电容式位移传感器和应变式载荷传感器采集信号;设计了基于PID算法的闭环控制系统,编写了控制软件。通过有限元方法分析了加载时机架和试样的变形,标定了仪器柔度,仪器总体柔度约为1.8×10-8m/N,远小于目前商用仪器化压入仪的柔度,从原理上保证了测试结果的准确性。