脉冲激光沉积技术在磁性薄膜制备中的应用
来源期刊：材料导报2003年第2期
论文作者：江建军 邓联文 何华辉
关键词：脉冲激光制膜; 磁性薄膜; 外延生长; 超晶格;
摘 要：脉冲激光沉积制膜(PLD)是近年来迅速发展起来的制膜新技术,首先简要介绍了脉冲激光沉积技术的原理、特点和优势以及在磁性功能薄膜研究中的应用,最后说明了该技术的最新发展趋势.
江建军1，邓联文1，何华辉1
(1.华中科技大学电子科学与技术系,武汉,430074)
摘要:脉冲激光沉积制膜(PLD)是近年来迅速发展起来的制膜新技术,首先简要介绍了脉冲激光沉积技术的原理、特点和优势以及在磁性功能薄膜研究中的应用,最后说明了该技术的最新发展趋势.
关键词:脉冲激光制膜; 磁性薄膜; 外延生长; 超晶格;
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