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辉光放电质谱分析技术的应用进展

来源期刊:冶金分析2009年第3期

论文作者:李小佳 余兴 王海舟

关键词:辉光放电质谱; 应用; 进展;

摘    要:简单介绍了辉光放电质谱(GDMS)的基本原理.对辉光放电质谱在块状金属、半导体、非导体、溶液、气体和深度分析方面的应用进行了综述.块状金属和半导体的痕量元素分析为GDMS主要的应用,它们的研究报道众多;对非导体材料的分析扩宽了GDMS的应用范围;同时尝试采用GDMS对溶液和气体样品进行分析;GDMS作为一种重要的深度分析方法,相关的应用迅速增加.最后展望了辉光放电质谱的发展趋势.

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辉光放电质谱分析技术的应用进展

李小佳1,余兴1,王海舟1

(1.钢铁研究总院,北京,100081)

摘要:简单介绍了辉光放电质谱(GDMS)的基本原理.对辉光放电质谱在块状金属、半导体、非导体、溶液、气体和深度分析方面的应用进行了综述.块状金属和半导体的痕量元素分析为GDMS主要的应用,它们的研究报道众多;对非导体材料的分析扩宽了GDMS的应用范围;同时尝试采用GDMS对溶液和气体样品进行分析;GDMS作为一种重要的深度分析方法,相关的应用迅速增加.最后展望了辉光放电质谱的发展趋势.

关键词:辉光放电质谱; 应用; 进展;

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