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薄膜生长计算机模拟概论

来源期刊：材料导报2008年增刊第2期

论文作者：杨仕娥文黎巍郭巧能文书堂丁俊

关键词：薄膜; 计算机模拟; 蒙特卡罗; 分子动力学;

摘要：阐述了计算机模拟薄膜生长的重要意义,介绍了计算机模拟薄膜生长的主要步骤和方法,重点阐述了蒙特卡罗和分子动力学方法的基本原理、关键问题及研究与应用进展,展望了薄膜生长计算机模拟的发展趋势.

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杨仕娥¹，文黎巍¹，郭巧能¹，文书堂¹，丁俊¹

(1.郑州大学物理工程学院材料物理教育部重点实验室,郑州,450052)

摘要:阐述了计算机模拟薄膜生长的重要意义,介绍了计算机模拟薄膜生长的主要步骤和方法,重点阐述了蒙特卡罗和分子动力学方法的基本原理、关键问题及研究与应用进展,展望了薄膜生长计算机模拟的发展趋势.

关键词:薄膜; 计算机模拟; 蒙特卡罗; 分子动力学;

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