APCVD法制备掺氮二氧化钛薄膜及其性能研究
来源期刊：功能材料与器件学报2006年第3期
论文作者：韩高荣 王薇薇 张溪文 郭玉
关键词：光催化性; 亲水性; 掺氮二氧化钛薄膜; 常压化学气相沉积;
摘 要：采用常压化学气相沉积(APCVD)法,以四氯化钛(TiCl4)、氧气(O2)氨气(NH3)作为先驱体,成功制备了掺氮二氧化钛(TiO2)薄膜.通过对其进行扫描电镜(SEM)、X射线衍射(XRD)、紫外可见透过光谱(UV-VIS)研究后发现,氮掺杂后在二氧化钛薄膜中引入Ti4O7相,抑制了锐钛矿相向金红石相的转变,光吸收限发生红移,相应从365.8nm红移到了402.6nm,提高了薄膜在可见光照射下的光催化效率,并改善了薄膜表面的亲水性能.
韩高荣1，王薇薇1，张溪文1，郭玉1
(1.浙江大学,硅材料国家重点实验室,杭州,310027)
摘要:采用常压化学气相沉积(APCVD)法,以四氯化钛(TiCl4)、氧气(O2)氨气(NH3)作为先驱体,成功制备了掺氮二氧化钛(TiO2)薄膜.通过对其进行扫描电镜(SEM)、X射线衍射(XRD)、紫外可见透过光谱(UV-VIS)研究后发现,氮掺杂后在二氧化钛薄膜中引入Ti4O7相,抑制了锐钛矿相向金红石相的转变,光吸收限发生红移,相应从365.8nm红移到了402.6nm,提高了薄膜在可见光照射下的光催化效率,并改善了薄膜表面的亲水性能.
关键词:光催化性; 亲水性; 掺氮二氧化钛薄膜; 常压化学气相沉积;
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