网状阴极辉光放电法在钛合金表面渗镀Ta的应用
来源期刊：稀有金属材料与工程2003年第2期
论文作者：唐宾 潘俊德 陈飞 张跃飞 徐重 窦瑞芬
关键词：Ti-6Al-4V; 阴极溅射; 渗镀钽;
摘 要：设计了一种网状阴极溅射靶,它是由多个空心阴极并列交叉组合而成.结构简单,溅射率高.将其用于双层辉光离子渗钽中,在钛合金(Ti-6Al-4V)表面可形成纯Ta沉积层和合金扩散层的复合层组织,进一步提高了钛合金的 耐蚀性,是一种高耐蚀合金.
唐宾1，潘俊德1，陈飞1，张跃飞1，徐重1，窦瑞芬1
(1.太原理工大学,山西,太原,030024)
摘要:设计了一种网状阴极溅射靶,它是由多个空心阴极并列交叉组合而成.结构简单,溅射率高.将其用于双层辉光离子渗钽中,在钛合金(Ti-6Al-4V)表面可形成纯Ta沉积层和合金扩散层的复合层组织,进一步提高了钛合金的 耐蚀性,是一种高耐蚀合金.
关键词:Ti-6Al-4V; 阴极溅射; 渗镀钽;
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