芯片搬运机械手设计
来源期刊：机械设计与制造2011年第10期
论文作者：侯博 阎明印 王世杰
文章页码：35 - 36
关键词：机械手;芯片;自动化;
摘 要：介绍了在芯片加工过程中用于芯片搬运的一种三自由度机械手。该机械手中设置有三个吸头,各个吸头之间的间距可调,能够实现三个芯片的同时抓取动作,同时又可适应不同间距的写头和料盘的应用要求。该机械手明显提高了生产效率和精度,实现了芯片加工的自动化。在全面深入地总结相关文献的基础上,还针对与课题相关的理论和实际问题进行了比较全面、深入、系统地研究,取得了一些具有理论意义与工程实际价值的成果。
侯博，阎明印，王世杰
沈阳工业大学机械工程学院
摘 要：介绍了在芯片加工过程中用于芯片搬运的一种三自由度机械手。该机械手中设置有三个吸头,各个吸头之间的间距可调,能够实现三个芯片的同时抓取动作,同时又可适应不同间距的写头和料盘的应用要求。该机械手明显提高了生产效率和精度,实现了芯片加工的自动化。在全面深入地总结相关文献的基础上,还针对与课题相关的理论和实际问题进行了比较全面、深入、系统地研究,取得了一些具有理论意义与工程实际价值的成果。
关键词：机械手;芯片;自动化;
