形状记忆合金驱动的微执行器
来源期刊：功能材料与器件学报2002年第3期
论文作者：徐东 陈鉴 蔡炳初 程秀兰 王莉
关键词：形状记忆合金; 微执行器; 形状记忆效应; 超弹性;
摘 要：以TiNi基为代表的形状记忆合金(SMA)具有做功密度大、可恢复应变应力大、驱动电压低、良好生物相容性等优点,在微执行器领域具有极为广阔应用前景.本文主要总结了TiNi基SMA丝、薄带、薄膜在微执行器方面的国内外研究应用现状,并对目前SMA在微驱动领域应用所存在的问题及其未来的发展趋势进行了分析讨论.
徐东1，陈鉴1，蔡炳初1，程秀兰1，王莉1
(1.上海交通大学微纳米科学技术研究院,微米/纳米加工技术国家级重点实验室,上海200030)
摘要:以TiNi基为代表的形状记忆合金(SMA)具有做功密度大、可恢复应变应力大、驱动电压低、良好生物相容性等优点,在微执行器领域具有极为广阔应用前景.本文主要总结了TiNi基SMA丝、薄带、薄膜在微执行器方面的国内外研究应用现状,并对目前SMA在微驱动领域应用所存在的问题及其未来的发展趋势进行了分析讨论.
关键词:形状记忆合金; 微执行器; 形状记忆效应; 超弹性;
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