高纯多晶硅在线制备技术及发展趋势
来源期刊：云南冶金2012年第3期
论文作者：徐远志
文章页码：75 - 79
关键词：高纯多晶硅;西门子法;硅烷法;
摘 要：对在线高纯多晶硅生产制备技术——改良西门子法和硅烷法的制备工艺进行了概述,比较了两种在线技术的优缺点,对两种在线技术的发展趋势进行了展望。
徐远志
昆明冶研新材料股份有限公司
摘 要：对在线高纯多晶硅生产制备技术——改良西门子法和硅烷法的制备工艺进行了概述,比较了两种在线技术的优缺点,对两种在线技术的发展趋势进行了展望。
关键词：高纯多晶硅;西门子法;硅烷法;
