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网状阴极溅射法在钛合金表面渗镀Ta的耐蚀性研究

来源期刊：材料热处理学报2002年第1期

论文作者：唐宾潘俊德陈飞张跃飞徐重窦瑞芬

关键词：TC4(Ti-6Al-4V); 阴极溅射; 渗镀钽;

摘要：研究设计了一种网状阴极溅射靶,它是由多个空心阴极并列交叉组合而成.结构简单,溅射率高.将其用于双层辉光离子渗钽中,在钛合金 TC4(Ti-6Al-4V)表面可形成纯Ta沉积层和合金扩散层的复合层组织,进一步提高了钛合金的耐蚀性,是一种高耐蚀合金.

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唐宾¹，潘俊德¹，陈飞¹，张跃飞¹，徐重¹，窦瑞芬¹

(1.太原理工大学表面工程研究所,山西,太原,030024)

摘要:研究设计了一种网状阴极溅射靶,它是由多个空心阴极并列交叉组合而成.结构简单,溅射率高.将其用于双层辉光离子渗钽中,在钛合金 TC4(Ti-6Al-4V)表面可形成纯Ta沉积层和合金扩散层的复合层组织,进一步提高了钛合金的耐蚀性,是一种高耐蚀合金.

关键词:TC4(Ti-6Al-4V); 阴极溅射; 渗镀钽;

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