用溶胶-凝胶法制备PZT铁电薄膜
来源期刊：稀有金属与硬质合金2002年第4期
论文作者：吴湘伟 陈振华
文章页码：13 - 16
关键词：PZT;溶胶-凝胶法;铁电薄膜;扩散;
摘 要：用溶胶-凝胶法在单晶Si、PLT/Si、PT/Si以及经过质子交换后的LiNbO3基片上制备了锆钛酸铅（PZT）铁电薄膜,分析了界面扩散以及Pb含量对薄膜晶化的影响。在试验中,通过适当添加过量的Pb（CH3COO）2可以防止缺Pb焦绿石相的形成。
吴湘伟，陈振华
摘 要：用溶胶-凝胶法在单晶Si、PLT/Si、PT/Si以及经过质子交换后的LiNbO3基片上制备了锆钛酸铅（PZT）铁电薄膜,分析了界面扩散以及Pb含量对薄膜晶化的影响。在试验中,通过适当添加过量的Pb（CH3COO）2可以防止缺Pb焦绿石相的形成。
关键词：PZT;溶胶-凝胶法;铁电薄膜;扩散;
