EB-PVD制备SOFC电解质涂层的显微结构表征
来源期刊：稀有金属材料与工程2007年增刊第2期
论文作者：李明伟 赫晓东 孟彬 孙跃
关键词：电子束物理气相沉积; YSZ涂层; 显微结构;
摘 要：采用大功率EB-PVD工艺在NiO-YSZ多孔基体上制备了20 μm厚的YSZ电解质涂层材料.SEM分析表明制备态涂层表面由1 μm～10 μm的晶粒组成并含有少量微米级的孔隙,涂层材料的断面SEM表明涂层致密并和基体结合良好.EPMA分析显示初始蒸发阶段制备的涂层材料内Y,O元素分布均匀,Zr元素的分布存在一个梯度.XRD分析表明:涂层为典型的立方相结构并表现出择优取向特征.
李明伟1，赫晓东1，孟彬1，孙跃1
(1.哈尔滨工业大学,复合材料与结构研究所,黑龙江,哈尔滨,150001)
摘要:采用大功率EB-PVD工艺在NiO-YSZ多孔基体上制备了20 μm厚的YSZ电解质涂层材料.SEM分析表明制备态涂层表面由1 μm～10 μm的晶粒组成并含有少量微米级的孔隙,涂层材料的断面SEM表明涂层致密并和基体结合良好.EPMA分析显示初始蒸发阶段制备的涂层材料内Y,O元素分布均匀,Zr元素的分布存在一个梯度.XRD分析表明:涂层为典型的立方相结构并表现出择优取向特征.
关键词:电子束物理气相沉积; YSZ涂层; 显微结构;
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