金属有机物化学气相沉积法沉积镍膜的影响因素
来源期刊：材料保护2004年第6期
论文作者：赵立峰 彭冬生 谢长生 刘世良
关键词：化学气相沉积; 金属有机物; 羰基镍; 镍膜;
摘 要：为了获得高速沉积镍膜的工艺参数,以羰基镍[Ni(CO)4]为前驱体,用金属有机物化学气相沉积法进行试验,以SEM,DSC,XRD测试分析技术探讨了载气、温度和羰基镍的摩尔分数对沉积速率的影响;也探讨了温度及羰基镍的摩尔分数对镍膜微观形貌的影响.结果表明,以氩气为载气比氦气为载气更容易获得高沉积速率;在沉积温度为150℃左右可获得沉积速率较快、微观形貌较好的薄膜;随羰基镍摩尔分数的增加,沉积速率也明显增大,同时薄膜的微观形貌也变得较为粗大,但达到30%之后,沉积速率增速减缓.
赵立峰1，彭冬生1，谢长生1，刘世良1
(1.华中科技大学材料学院,湖北,武汉,430074)
摘要:为了获得高速沉积镍膜的工艺参数,以羰基镍[Ni(CO)4]为前驱体,用金属有机物化学气相沉积法进行试验,以SEM,DSC,XRD测试分析技术探讨了载气、温度和羰基镍的摩尔分数对沉积速率的影响;也探讨了温度及羰基镍的摩尔分数对镍膜微观形貌的影响.结果表明,以氩气为载气比氦气为载气更容易获得高沉积速率;在沉积温度为150℃左右可获得沉积速率较快、微观形貌较好的薄膜;随羰基镍摩尔分数的增加,沉积速率也明显增大,同时薄膜的微观形貌也变得较为粗大,但达到30%之后,沉积速率增速减缓.
关键词:化学气相沉积; 金属有机物; 羰基镍; 镍膜;
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