区域熔炼制备高纯金属的综述
来源期刊:矿冶2010年第2期
论文作者:罗远辉 李文良
关键词:区域熔炼; 高纯; 提纯; 高纯金属; 半导体材料;
摘 要:在电子和半导体工业中需要纯度很高的金属,普遍用于这些金属和半导体提纯的有效方法就是区域熔炼.目前1/3的元素和数百种无机、有机化合物都能通过区域熔炼提纯到很高的纯度.本文对区域熔炼的原理、实际操作的影响因素、设备选择及应用方面进行了综述.
罗远辉1,李文良1
(1.北京有色金属研究总院,北京,100088)
摘要:在电子和半导体工业中需要纯度很高的金属,普遍用于这些金属和半导体提纯的有效方法就是区域熔炼.目前1/3的元素和数百种无机、有机化合物都能通过区域熔炼提纯到很高的纯度.本文对区域熔炼的原理、实际操作的影响因素、设备选择及应用方面进行了综述.
关键词:区域熔炼; 高纯; 提纯; 高纯金属; 半导体材料;
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