无掩模定域性电沉积三维微结构的工艺研究

来源期刊：材料科学与工艺2020年第6期

论文作者：吴建辉 吴蒙华 王元刚 贾卫平

文章页码：29 - 35

关键词：电镀;无掩模;定域性电沉积;增材制造;三维金属微结构;

摘    要：在无掩模定域性电沉积增材制造三维金属微结构的工艺试验过程中,针对成型质量、速度与可重复性的基本要求,采用控制单一变量法和正交实验法研究了极间电压、脉冲占空比、极间距等主要工艺参数对实验结果的影响。研究结果表明:极间电压的大小对微区域电沉积速率一致性、脉冲电流占空比对微沉积速率大小、极间距大小对微沉积区域电场线分布均有不同程度的影响。通过正交实验优化得到的工艺参数为:极间电压2 V、脉冲电流占空比0.4、极间距20μm、脉冲频率2 kHz,三坐标工作台X和Y轴移动速度均为1μm/s、Z轴移动速度5μm/s。通过优化工艺参数取得较好的沉积效果,沉积速率可达300μm³/s,获得的镍质简单三维微结构,最大深宽比12:1。