DMSO中脉冲电沉积Y-Ni合金膜
来源期刊：材料保护2001年第2期
论文作者：何山 王小晗 刘冠昆
关键词：二甲基亚砜; 脉冲电沉积; Y-Ni合金膜; 非水 体系; 工艺;
摘 要：采用脉冲电沉积技术，在室温下的含YCl3和NiCl2的二甲基亚砜(DMSO)溶液中，沉积出 含稀土元素Y的Y-Ni合金薄膜。研究了影响镀层性能的工艺参数，包括脉冲频率、占空比、 电流效率及Y在镀层中的含量与电流密度的关系，用X射线分析仪确定镀层的物相组成，用扫 描电镜及能谱仪分析了合金镀层的组成及形态。发现，随着电流密度增大，合金镀层中的稀 土Y含量增高。Y-Ni合金薄膜具有非晶态结构，具有良好的耐蚀性和一定的抗氧化性。
何山1，王小晗2，刘冠昆2
(1.中国电子产品可靠性与环境试验研究所;
2.中山大学化学与化学工程学院)
摘要:采用脉冲电沉积技术，在室温下的含YCl3和NiCl2的二甲基亚砜(DMSO)溶液中，沉积出 含稀土元素Y的Y-Ni合金薄膜。研究了影响镀层性能的工艺参数，包括脉冲频率、占空比、 电流效率及Y在镀层中的含量与电流密度的关系，用X射线分析仪确定镀层的物相组成，用扫 描电镜及能谱仪分析了合金镀层的组成及形态。发现，随着电流密度增大，合金镀层中的稀 土Y含量增高。Y-Ni合金薄膜具有非晶态结构，具有良好的耐蚀性和一定的抗氧化性。
关键词:二甲基亚砜; 脉冲电沉积; Y-Ni合金膜; 非水 体系; 工艺;
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