类金刚石薄膜的紫外辐照研究
来源期刊：功能材料2002年第5期
论文作者：谢二庆 刘贵昂 王天民
关键词：类金刚石薄膜; 紫外光辐照; Raman光谱; 红外光谱; 石墨化;
摘 要：对射频等离子体方法制备的类金刚石(以下简称DLC)薄膜样品进行了紫外辐照.采用电阻率、Raman光谱及红外光谱研究了紫外光(以下简称UV)辐照对DLC薄膜结构与特性的影响.Raman光谱表明:紫外光对DLC薄膜中SPC-H键的破坏作用非常明显,红外(IR)光谱结果进一步验证了这一结果.经UV辐照后,DLC薄膜的电阻率呈变小趋势,这说明薄膜被强烈氧化,最后呈现石墨化趋势.
谢二庆1，刘贵昂2，王天民3
(1.兰州大学物理科学与技术学院,甘肃,兰州,730000;
2.湛江海洋大学基础科学系,广东,湛江,524088;
3.北京航空航天大学理学院,北京,100083)
摘要:对射频等离子体方法制备的类金刚石(以下简称DLC)薄膜样品进行了紫外辐照.采用电阻率、Raman光谱及红外光谱研究了紫外光(以下简称UV)辐照对DLC薄膜结构与特性的影响.Raman光谱表明:紫外光对DLC薄膜中SPC-H键的破坏作用非常明显,红外(IR)光谱结果进一步验证了这一结果.经UV辐照后,DLC薄膜的电阻率呈变小趋势,这说明薄膜被强烈氧化,最后呈现石墨化趋势.
关键词:类金刚石薄膜; 紫外光辐照; Raman光谱; 红外光谱; 石墨化;
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