激光掺杂制作选择性发射极晶体硅PERC电池的工艺研究

来源期刊：材料导报2018年第S2期

论文作者：庞恒强

文章页码：21 - 29

关键词：激光掺杂;PERC电池;方块电阻;选择性发射极;外量子效率(EQE);

摘    要：基于PERC （Passivated emitter and rear cell）电池的工艺基础,进行了激光掺杂制作选择性发射极晶体硅PERC电池的研究。以现有的PERC电池制造技术路线为基础,激光掺杂制作选择性发射极。研究了经激光掺杂后,选择性发射极对方块电阻、磷扩散结深及表面掺杂浓度、遮光比、激光能量密度、激光脉冲重叠率的影响。利用四探针测量仪、电化学电容-电压法（ECV）、扫描电子显微镜（SEM）、WT2000（μPCD-microwave photo conductivity decay）、二次离子质谱测量仪（SIMS）、WCT120测试仪、光致发光光谱仪（PL）、光谱响应（EQE）、二次元测长仪（Two dimensional length measuring instrument）对试样依次进行了表征。研究结果表明:激光掺杂后的PERC电池在短波波段具有更高的量子效率。方块电阻主要影响了PERC电池的表面复合速率。而PERC电池的开路电压主要取决于方块电阻、激光能量密度、激光脉冲重叠率。短路电流密度主要取决于方块电阻、磷扩散结深及表面掺杂浓度、遮光比、激光能量密度、激光脉冲重叠率。