简介概要

微型夹钳的最新研究

来源期刊：功能材料与器件学报2004年第1期

论文作者：王立鼎刘冲王晓东

关键词：微型夹钳; 微装配; 微机电系统; 微系统技术;

摘要：微型夹钳技术是微机电系统研究的重要内容,应用于微装配等领域,在微机电系统的研究及微型产品的研制开发中发挥着重要的作用.本文选取微型夹钳技术最新研究中有代表性的成果进行了回顾,对微型夹钳的结构材料、制作工艺和工作原理等进行了分析,介绍了微型夹钳的最新研究进展,概括了研究特点及发展趋势.

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王立鼎¹，刘冲¹，王晓东¹

(1.大连理工大学,微系统研究中心,大连,116024)

摘要:微型夹钳技术是微机电系统研究的重要内容,应用于微装配等领域,在微机电系统的研究及微型产品的研制开发中发挥着重要的作用.本文选取微型夹钳技术最新研究中有代表性的成果进行了回顾,对微型夹钳的结构材料、制作工艺和工作原理等进行了分析,介绍了微型夹钳的最新研究进展,概括了研究特点及发展趋势.

关键词:微型夹钳; 微装配; 微机电系统; 微系统技术;

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