氢化非晶硅薄膜的红外光谱分析和桥键氢扩散假设

张文理¹，马占杰¹，周怀恩¹，李瀛¹，胡跃辉¹，朱秀红¹，陈光华¹

(1.北京工业大学,材料学院教育部新型功能材料重点实验室,北京,100022)

摘要:通过红外透射光谱研究了在光诱导退火中退火条件对氢化非晶硅薄膜的结构和光电特性的影响,实验所用样品采用热丝辅助微波电子回旋共振化学气相沉积方法制备.我们用桥键氢扩散模型来解释退火中的不同现象.样品的红外光谱在630和2000cm-1处的吸收系数有所增加,说明了原先的成键氢发生了移动和溢出,我们认为通过光诱导产生载流子的非辐射复合以及桥键氢和深俘获氢原子的交换,产生了大量的桥键氢原子,它们相互结合形成分子氢,氢溢出要优于氢团聚.

关键词:氢化非晶硅薄膜; 氢间隙扩散; 微波电子回旋共振; 傅立叶变换红外光谱; a-Si: H thin film; bond-centered H diffusion; MW ECR; FTIR;

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