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NiTi形状记忆合金薄膜的制备及形变特性

来源期刊：功能材料与器件学报2006年第3期

论文作者：徐东袁振宇刘毓舒蔡炳初

关键词：NiTi薄膜; 形状记忆合金; 织构; 微驱动器;

摘要：研究了适用于微器件的溅射态NiTi形状记忆合金薄膜.讨论了溅射工艺及织构对薄膜结构和相变特征的影响.利用薄膜热相变特性制成了微驱动器,观察并分析了该器件的形变特性.结果表明:原位加热溅射可以获得具有织构的晶化薄膜;用该薄膜制备的驱动器回复率为0.76%.

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徐东¹，袁振宇¹，刘毓舒²，蔡炳初¹

(1.上海交通大学微纳科学技术研究院,微米/纳米加工技术国家重点实验室,薄膜与微细技术教育部重点实验室,上海,200030;
2.上海交通大学材料科学与工程学院,上海,200030)

摘要:研究了适用于微器件的溅射态NiTi形状记忆合金薄膜.讨论了溅射工艺及织构对薄膜结构和相变特征的影响.利用薄膜热相变特性制成了微驱动器,观察并分析了该器件的形变特性.结果表明:原位加热溅射可以获得具有织构的晶化薄膜;用该薄膜制备的驱动器回复率为0.76%.

关键词:NiTi薄膜; 形状记忆合金; 织构; 微驱动器;

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