射频功率和工作压强对Ga、Al共掺杂ZnO薄膜性能的影响
来源期刊：材料导报2020年第12期
论文作者：罗国平 张漫虹 梁铨斌 陈冬 陈星源 李天乐 朱伟玲
文章页码：12020 - 12024
关键词：射频功率;透明电极;ZnO薄膜;溅射沉积;透射率;电阻率;
摘 要：室温下采用射频（RF）磁控溅射在玻璃衬底上制备镓铝共掺杂氧化锌（GAZO）薄膜。采用X射线衍射仪、紫外-可见-近红外分光光度计、四探针测试仪和紫外光电子能谱等表征方法研究射频功率和工作压强与薄膜结构、光学和电学性能之间的关联。结果表明:不同条件下制备的GAZO薄膜均具有六方纤锌矿晶体结构,沿垂直衬底的（002）方向择优取向,在可见光波段（400～700 nm）的平均透射率均高于90%;在射频功率和工作压强分别为200 W和0.20 Pa条件下制备的GAZO薄膜具有最低的电阻率(1.40×10-3Ω·cm)和最高的品质因子(8.10×10-3Ω-1)。GAZO薄膜优良的光电性能使其有很大潜力作为透明电极应用于光电器件。
罗国平1，张漫虹1，梁铨斌2，陈冬1，陈星源1，李天乐1，朱伟玲1
1. 广东石油化工学院理学院2. 华南理工大学发光材料与器件国家重点实验室
摘 要：室温下采用射频（RF）磁控溅射在玻璃衬底上制备镓铝共掺杂氧化锌（GAZO）薄膜。采用X射线衍射仪、紫外-可见-近红外分光光度计、四探针测试仪和紫外光电子能谱等表征方法研究射频功率和工作压强与薄膜结构、光学和电学性能之间的关联。结果表明:不同条件下制备的GAZO薄膜均具有六方纤锌矿晶体结构,沿垂直衬底的（002）方向择优取向,在可见光波段（400～700 nm）的平均透射率均高于90%;在射频功率和工作压强分别为200 W和0.20 Pa条件下制备的GAZO薄膜具有最低的电阻率(1.40×10-3Ω·cm)和最高的品质因子(8.10×10-3Ω-1)。GAZO薄膜优良的光电性能使其有很大潜力作为透明电极应用于光电器件。
关键词：射频功率;透明电极;ZnO薄膜;溅射沉积;透射率;电阻率;
