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热丝碳化促进CVD金刚石成核增强的物理机制

来源期刊：功能材料2002年第1期

论文作者：邱东江徐晓玲吴惠桢郝天亮石成儒

关键词：热丝碳化; 金刚石; 成核;

摘要：采用扫描电镜、X射线衍射及喇曼光谱等手段研究了HFCVD过程中热丝碳化对金刚石成核特性的影响.热丝经充分碳化后能发射出更多热电子,进而从反应气体中激发出更多原子H和CH3+.使金刚石晶核的孕育期大为缩短,3min内即可在未经表面预处理的Si衬底上获得1010cm-2以上的高晶核密度.

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邱东江¹，徐晓玲¹，吴惠桢¹，郝天亮²，石成儒²

(1.浙江大学物理系,浙江,杭州,310028;
2.浙江大学中心实验室,浙江,杭州,310028)

摘要:采用扫描电镜、X射线衍射及喇曼光谱等手段研究了HFCVD过程中热丝碳化对金刚石成核特性的影响.热丝经充分碳化后能发射出更多热电子,进而从反应气体中激发出更多原子H和CH3+.使金刚石晶核的孕育期大为缩短,3min内即可在未经表面预处理的Si衬底上获得1010cm-2以上的高晶核密度.

关键词:热丝碳化; 金刚石; 成核;

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