准分子激光淀积氧化物薄膜
来源期刊：昆明理工大学学报(自然科学版)2001年第1期
论文作者：王金波 张鹏翔
文章页码：26 - 30
关键词：准分子;激光淀积;氧化物薄膜;
摘 要：自 1 98 7年贝尔实验室首次用脉冲准分子激光制备出高温超导薄膜以来 ,脉冲激光淀积技术已得到了蓬勃发展 ,现在已成为最好的薄膜制备技术之一 .本文简要介绍了准分子激光的原理、PLD的原理以及用准分子激光脉冲淀积氧化物薄膜的工艺及其所表现的诸多优势
王金波，张鹏翔
昆明理工大学材料与冶金工程学院!云南昆明650093
摘 要：自 1 98 7年贝尔实验室首次用脉冲准分子激光制备出高温超导薄膜以来 ,脉冲激光淀积技术已得到了蓬勃发展 ,现在已成为最好的薄膜制备技术之一 .本文简要介绍了准分子激光的原理、PLD的原理以及用准分子激光脉冲淀积氧化物薄膜的工艺及其所表现的诸多优势
关键词：准分子;激光淀积;氧化物薄膜;
