电子级多晶硅生产关键工艺控制
来源期刊：云南冶金2019年第4期
论文作者：马启坤 赵桂洁
文章页码：76 - 78
关键词：电子级;多晶硅;生产工艺;
摘 要：围绕生产电子级多晶硅关键工艺控制各环节,研究了如何生产出高品质电子级多晶硅产品。
马启坤1,2，赵桂洁3,4
1. 昆明冶金研究院2. 云南省选冶新技术重点实验室4. 云南省光电子硅材料制备技术企业重点实验室
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