应力对薄膜结构与性能影响的研究现状
来源期刊：材料导报2013年第5期
论文作者：冉春华 金义栋 祝闻 聂朝胤
文章页码：139 - 142
关键词：薄膜应力;薄膜结构;薄膜性能;
摘 要：产生薄膜应力是在沉积薄膜过程中普遍存在的现象。薄膜应力的存在将影响薄膜的微观结构和性能,如薄膜的光学、力学等物理性能。同时影响到薄膜与基体材料的结合度以及基体材料的基本性能。主要总结了薄膜应力的产生机理、测试方法及其对薄膜结构和性能的影响,同时对薄膜应力的有效控制提出了展望。
冉春华，金义栋，祝闻，聂朝胤
西南大学材料科学与工程学院
摘 要：产生薄膜应力是在沉积薄膜过程中普遍存在的现象。薄膜应力的存在将影响薄膜的微观结构和性能,如薄膜的光学、力学等物理性能。同时影响到薄膜与基体材料的结合度以及基体材料的基本性能。主要总结了薄膜应力的产生机理、测试方法及其对薄膜结构和性能的影响,同时对薄膜应力的有效控制提出了展望。
关键词：薄膜应力;薄膜结构;薄膜性能;
