FePt单层连续膜和颗粒膜的制备与磁性能研究

来源期刊：功能材料2012年第13期

论文作者：王建省 裴文利 杨波 李松 任玉平 秦高梧

文章页码：1704 - 1707

关键词：颗粒膜;L10-FePt;溅射参数;

摘    要：利用磁控溅射在不同Ar气压下制备了不同膜厚的FePt薄膜。利用透射电镜（TEM）研究了溅射气压和膜厚对薄膜形貌的影响,利用振动样品磁强计（VSM）研究了溅射气压和膜厚对薄膜磁性能的影响。结果表明溅射气压和膜厚对溅射态单层FePt薄膜的表面形貌、颗粒尺寸有很大影响。随着溅射气压的增大,颗粒尺寸减小,从连续膜转变成颗粒膜;随着膜厚的增加,颗粒尺寸变大,从颗粒膜变成连续膜。通过调节溅射气压可以控制FePt的岛状结构,从而获得较理想的FePt颗粒薄膜。溅射气压和膜厚对经过热处理的L10-FePt薄膜的磁性能有很大影响。随着溅射气压增加,形核场由正值转变成负值,矩形比有增大趋势;随着厚度的增加,无序-有序相转变更充分。