多层介质膜脉宽压缩光栅清洗方法研究
来源期刊：无机材料学报2019年第12期
论文作者：邹溪 晋云霞 孔钒宇 王勇禄 张益彬 邵建达
文章页码：1285 - 1289
关键词：多层介质膜;脉宽压缩光栅;氧等离子体;SPM;HPM;
摘 要：采用SPM（Sulfuric-Peroxide Mixtures, 98wt%H2SO4+30wt%H2O2）+兆声（方法 1）和氧等离子体+HPM（Hydrochloric/Peroxide Mixture, 37wt%HCl+30wt%H2O2+DIH2O）+兆声（方法 2）两种清洗方法对多层介质膜脉宽压缩光栅进行清洗,并对清洗前后样品的表面元素含量、衍射效率、表面粗糙度、表面温升以及激光损伤阈值等参数进行测量以评估两种清洗方法清洗效果。在入射角70°,脉宽12 ns, s偏振,波长1064 nm的激光辐照下,经过清洗方法 1清洗后的光栅样品单脉冲激光损伤阈值为7.55 J/cm2,而方法 2清洗后的样品损伤阈值为5.32 J/cm2。另外,虽然经过方法 2清洗后样品表面杂质含量更低,但是在衍射效率、表面粗糙度和表面温升都劣于经方法 1清洗后的样品,进一步分析发现方法 2中氧等离子体清洗过程引入的Fe元素影响了其样品损伤性能和温升性能。因此, SPM清洗方法可以作为多层介质膜脉宽压缩光栅提升抗激光损伤性能的优化清洗方案。
邹溪1,2,3,4，晋云霞1,2，孔钒宇1,2，王勇禄1,2，张益彬1,2，邵建达1,2
1. 中国科学院上海光学精密机械研究所薄膜光学实验室2. 中国科学院强激光材料重点实验室3. 中国科学院大学材料与光电研究中心4. 上海科技大学物质科学与技术学院
摘 要：采用SPM（Sulfuric-Peroxide Mixtures, 98wt%H2SO4+30wt%H2O2）+兆声（方法 1）和氧等离子体+HPM（Hydrochloric/Peroxide Mixture, 37wt%HCl+30wt%H2O2+DIH2O）+兆声（方法 2）两种清洗方法对多层介质膜脉宽压缩光栅进行清洗,并对清洗前后样品的表面元素含量、衍射效率、表面粗糙度、表面温升以及激光损伤阈值等参数进行测量以评估两种清洗方法清洗效果。在入射角70°,脉宽12 ns, s偏振,波长1064 nm的激光辐照下,经过清洗方法 1清洗后的光栅样品单脉冲激光损伤阈值为7.55 J/cm2,而方法 2清洗后的样品损伤阈值为5.32 J/cm2。另外,虽然经过方法 2清洗后样品表面杂质含量更低,但是在衍射效率、表面粗糙度和表面温升都劣于经方法 1清洗后的样品,进一步分析发现方法 2中氧等离子体清洗过程引入的Fe元素影响了其样品损伤性能和温升性能。因此, SPM清洗方法可以作为多层介质膜脉宽压缩光栅提升抗激光损伤性能的优化清洗方案。
关键词：多层介质膜;脉宽压缩光栅;氧等离子体;SPM;HPM;
