光学MEMS技术及其光通信应用

来源期刊：功能材料与器件学报2013年第3期

论文作者：吴亚明

文章页码：119 - 123

摘    要：<正>0引言MEMS技术与光学技术的结合被称为光学MEMS（Optical MEMS）,也称为MOEMS（MOEMS:Micro Opto-Electro-Mechanical System）,是MEMS技术的一个重要分支。光学MEMS技术在上世纪80年代左右开始起步,至今发展已经有三十多年的历史,其技术应用主要分为光学执行器、光学传感器、光学加工制造三类。1光学MEMS技术带来的新机遇MEMS技术与光学的结合,为光学技术的发展带来了新的发展动力和机遇,一大批新器件、新制造技术推动了光学技术的快速发展。光学MEMS执