简介概要

超大规模集成电路硅片的内吸杂

来源期刊：材料导报2003年第5期

论文作者：马向阳杨德仁汤艳樊瑞新阙端麟李东升

关键词：硅; 内吸杂; 金属; 氧;

摘要：介绍了吸杂的分类与效果以及内吸杂工艺,并综述了金属在硅中的性质,主要阐明了氧在内吸杂中的作用,简述了氮对吸杂的影响,并讨论了内吸杂的物理机理.最后探讨了今后吸杂的发展方向.

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马向阳¹，杨德仁¹，汤艳¹，樊瑞新¹，阙端麟¹，李东升¹

(1.浙江大学硅材料科学国家重点实验室,杭州,310027)

摘要:介绍了吸杂的分类与效果以及内吸杂工艺,并综述了金属在硅中的性质,主要阐明了氧在内吸杂中的作用,简述了氮对吸杂的影响,并讨论了内吸杂的物理机理.最后探讨了今后吸杂的发展方向.

关键词:硅; 内吸杂; 金属; 氧;

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